Тип: Реферат |
Цена: 450 р. |
Страниц: 18 |
Формат: doc |
Год: 2012 |
 Купить
Данная работа была успешно защищена, продается в таком виде, как есть. Изменения, а также индивидуальное исполнение возможны за дополнительную плату. Если качество купленной готовой работы с сайта не соответствует заявленному, мы ВЕРНЕМ ВАМ ДЕНЬГИ или ОБМЕНЯЕМ на другую готовую работу. Данная гарантия действует в течение 48 часов после покупки работы. Вы можете получить её по электронной почте (отправляется сразу после подтверждения оплаты в течение 3-х часов, в нерабочее время возможно увеличение интервала). Для получения нажмите кнопку «купить» выше.
Также работу можно получить в московском офисе, либо курьером в любом крупном городе России (стоимость услуги 600 руб.). Желаете просмотреть часть работы? Обращайтесь: ICQ 15555116, Skype dip-master, E-mail info @ dipmaster-shop.ru. Звоните: (495) 972-80-33, (495) 972-81-08, (495) 518-51-63, (495) 971-07-29, (495) 518-52-11, (495) 971-76-12, (495) 979-43-28.
|
Содержание
|
|
Введение 2
Термическое (вакуумное) напыление 3
Катодное напыление 5
Ионная бомбардировка 7
Ионно-плазменное напыление 9
Анодирование 11
Электрохимическое осаждение 12
ВУП-5, технические характеристики 13
Трансмиссионная электронная микроскопия 15
Заключение 17
Литература
|
|
Введение
|
|
Образцы для исследования в просвечивающем электронном микроскопе могут быть приготовлены как непосредственно из материала исследуемого объекта, так и из материала, отличного от материала объекта. В первом случае анализ электроннограмм и дифракционного контраста на изображении дает непосредственную информацию о кристаллической структуре объекта. Тонкие образцы для таких исследований готовятся с помощью следующих методик:
" получение тонких срезов на ультрамикротоме;
" утончение объектов химической полировкой или ионной бомбардировкой;
" напыление пленок - термическое испарение, катодное распыление, газотранспортные реакции и т.д.
" разбрызгивание и высушивание (для порошков и суспензий).
Тонкие пленки представляют собой слой какого-либо материала толщиной от 10 до 10000А. Они различаются по своим физическим и химическим свойствам: эпитаксиальные монокристаллические и аморфные, проводящие и диэлектрические, органические и неорганические. Под эпитаксиальной пленкой обычно понимают монокристаллический слой, выращенный на монокристаллической подложке с которой он имеет определенное кристаллографическое соответствие. Эпитаксиальные монокристаллические пленки обычно содержат дефекты, такие, как дислокации, дефекты упаковки, двойники и субструктуры. Когда верхний слой того же состава, что и подложка, его называют гомоэпитаксиальным, если же верхний слой другого состава, то он называется гетероэпитаксиальным. Аморфные тонкие пленки обладают либо структурой типа беспорядочной сетки, либо беспорядочной плотноупакованной структурой.
В данной работе будет рассмотрен метод напыления тонких пленок термическим испарением на установке ВУП-5.
|
|
Список литературы
|
|
1. Технология тонких пленок. Справочник, под ред. Л. Майссела, Р. Глэнга, пер. с англ., т. 1-2, М., 1977;
2. Плазменная металлизация в вакууме, Минск, 1983;
3. Черняев В.Н., Технология производства интегральных микросхем и микроциклоров, 2 изд., М., 1987;
4. Волков С. С., Гирш В. И., Склеивание и напыление пластмасс, М., 1988;
5. Коледов Л. А., Технология и конструкция микросхем, микроциклоров и микросборок, М., 1989. Л. А. Коледов.
6. Шиммель Г., Методика электронной микроскопии, пер. с нем., М., 1972
7. http://www.chemport.ru
8. http://www.pulscen.ru/info/special/obscheeoborud/vakpumps
|
|
Примечания:
|
|
Примечаний нет.
|
|
На уровень вверх